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DSP EFEM设备

设备针对12寸半导体硅片的抛光（Polishing）工序，是DSP工具的前端模块（EFEM）设备，实现自动上下料、检查等功能。整个设备融合了晶圆装载口、专用洁净型机器人、视觉定位系统、裂痕检测系统、自动读码功能、自动控制信息管理系统，实现高精度自动取、放、翻转等功能。设备通过陶瓷叉臂、橡胶吸盘及碳纤维抓手多种组合方式来实现裂纹检测、自动上料及自动下料多种工况下的晶圆精准取放。